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精密位移平台的结构
转动平通过四个对称设置的平行柔性铰链与基座7相连。当两个驱动器的进给位移相等时，转动平台将绕平台的中心转动
精密位移平台数学建模
工作行程、分辨率、精度、固有频率是精密定位平台的主要性能指标[8]。在以柔性铰链为传动机构的微动平台的设计中，柔性铰链的设计尤为重要。因此，本设计对精密定位机构进行了刚度、固有频率和强度分析，在此基础上对机构进行了设计，所选的材料是弹性较好的65Mn。其相关参数如下：屈服强度：σs=785MPa；弹性模量：E=210GPa；密度： ρ=7.9×103kg/m3 ；泊松比：μ=0.3
精密位移平台的刚度分析
本设计中，采用了Btrain D. Jensen, Larry L. Howell提出的Small-length flexural pivot 型柔性铰。平台可简化为一个刚体通过4个对称柔性铰链与支架相连的模型。
精密位移平台的强度分析
在微动平台的设计中，不但要保证平台的刚度和固有频率条件，也要保证平台的强度。一般允许应力为材料屈服强度的10%左右。
精密位移平台的优化设计
为了获得较大的行程，所以应当在保证平台的固有频率和强度的条件下，尽可能降低平台的刚度。以a和t为优化变量
