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超精密精密位移平台的主轴部件目前所使用的主要有:液体静压轴承主轴、空气式静压主轴两种目前主要采用空气轴承主轴。主轴和轴承的材料选取,对精密位移平台的精度和性能有重要影响。精密位移平台制造空气主轴的材料有
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