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探讨精密XY位移平台平行四连杆结构及力学模型

添加时间：2020-6-9 9:24:34 作者：浙江金科机械传动有限公司

1.精密XY位移平台平行四连杆结构
    精密XY位移平台用于微定位,产生微米至纳米级的位移,要求其导轨副间无间隙和摩擦,位移分辨率高,在保证大输出位移情况下具有较大的刚度,只沿驱动方向作直线运动,而不在其他方向上产生交叉耦合位移。双柔性平行四杆结构呈对称性,不仅能消除单平行四杆结构中存在的交叉耦合位移,而且在一定程度上减弱了外界的干扰,具有良好的导向性。
    精密XY位移平台的结构模型。当给工作台施加驱动力时,所有的柔性铰链将产生一定的偏转,使精密XY位移平台沿驱动力方向产生一定位移,在保证加工和装配完全对称的条件下,该结构的对称性使微动台不会在垂直方向产生耦合运动。同时,该结构的间接驱动方式能有效避免工作台面产生变形,使pzt的驱动位移得到高效地传递
2.精密XY位移平台柔性铰链的力学模型
精密XY位移平台采用双圆弧柔性铰链,其绕z轴转动刚度为kb=2ebt5/2/9πr1/2式中 e为材料的弹性模量; t、h、b分别为厚度和高度。
pzt产生推力,驱动微动台运动,驱动力对柔性铰链产生一个绕z轴的力矩mz,使铰链绕z轴偏转αz角

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