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精密手动位移平台由实验可知,pzt所受预紧力(f)越大,工作台刚度(δi)越高,关系曲线如图8所示。由有限元分析可得,随着f的增加,固有频率逐渐增大。在给微动台x向施加10μm的位移载荷时,固有频率从737 hz增加到1 973 hz,即f对微动台的固有频率起着决定性的影响。通过实验和有限元分析可知,微动台的固有频率和δi随着f的增加而增大。
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